高性能 PEI シート (ポリエーテルイミド シート) は、半導体製造保護システムの中核的な構造材料となっています。 AHD の厚さ 5 ～ 80 mm の琥珀色の PEI シートは、低ガス放出、高温耐性、安定した寸法性能を特徴としており、業界標準に完全に準拠しています。この未充填バージンPEIシートは、半導体デバイスの保護カバー、ウェーハハンドリングシールド、リソグラフィー装置のバリアなどに広く採用されており、精密チップ生産に信頼性の高いシールド性能と汚染防止性能をもたらします。
5～80mmの未充填バージンPEI琥珀シートのコア特性
当社の未充填バージン琥珀PEIプラスチックシート5mm～80mmは、フィラーを一切添加していない純粋なPEI原材料から作られているため、厳格な半導体製造環境に適した超高純度を提供します。この材料は、高温の半導体処理作業場での長期使用を目的とした高温耐性PEIの琥珀色の厚板で、ガラス転移温度は217℃、熱たわみ温度は最大190℃です。
この低アウトガスグレードのPEI琥珀色シートは、高温での動作中に大量の揮発性有機化合物を排出しないため、環境にも適応しており、ウェーハ表面の汚染や精密部品への損傷を防ぎます。一方、寸法安定性の高い厚手のPEIアンバーボードは、熱膨張係数が5.5×10-5/°Cで、頻繁な温度変化や工場作業場での機械的振動下での変形に耐える優れた性能を備えています。
さらに、透明な琥珀色の PEI シート (ウルテム 1000 シート) は均一な琥珀色の透明度を備えているため、技術者は保護カバーを取り外すことなく内部の機器の動作状態を確認できます。本質的に難燃性(UL94 V-0) を備えており、RoHS および REACH 環境規制に準拠しており、密閉された高精度の半導体製造環境に最適です。
PEI シート、ウルテム PEI シートとも呼ばれます
半導体グレードの化学的および機械的利点
半導体製造にはフォトレジスト、洗浄剤、エッチング液などのさまざまな腐食性化学薬品が使用されるため、保護材料には厳しい耐食性要件が求められます。当社の耐薬品性琥珀色の PEI シート半導体グレードは、ほとんどの有機溶媒、弱酸、アルカリに対して優れた耐性を示します。半導体処理用化学薬品と長期間接触しても膨潤、亀裂、劣化が起こらず、保護具の耐用年数が大幅に延長されます。
機械的には、厚い PEI アンバー プレートは 85MPa の安定した引張強度と 3200MPa の曲げ弾性率を維持します。脆性破壊を起こしやすい通常のプラスチック シートとは異なり、このバージン PEI シートはバランスの取れた靭性と剛性を実現します。機器の動作中の軽度の衝撃や摩擦に耐え、精密チップ、ウェーハ、テストコンポーネントを物理的損傷から効果的に保護します。
従来の機器保護に使用される通常のアクリルおよび透明 PVC シートと比較して、PEI シートは、高温および高清浄度の環境における老化、黄変、および性能の低下を防ぎます。その総合的な性能は従来のエンジニアリング プラスチックよりもはるかに優れており、ハイエンドの半導体工場保護システムに推奨される材料となっています。
半導体PEIシートの代表的な応用シナリオ
半導体デバイス保護カバー用のプロフェッショナル PEI アンバー シートとして、AHD の厚い PEI ボードは、半導体の製造、テスト、パッケージングの全プロセスをカバーします。ウェーハ生産ワークショップでは、ウェーハハンドリングシールド用の厚い PEI アンバープレートが、輸送中および保管中に外部の塵、静電気、機械的干渉からウェーハを隔離し、ウェーハ表面の清浄度と歩留まりを確保します。
精密加工リンクでは、半導体製造装置の保護カバー PEI シートがリソグラフィー、エッチング、蒸着装置のシェルやバッフルに適用されます。低アウトガス機能により、ガス残留物による精密処理チャンバーの汚染が防止されます。チップ テスト手順では、チップ テスト フィクスチャ ハウジング用のアンバー PEI シートがテスト フィクスチャに安定した絶縁およびシールド保護を提供し、正確なテスト データと安定した機器の動作を保証します。
後段のパッケージングプロセスでは、当社の半導体処理シールド用PEI厚板および半導体パッケージング装置用PEIシールドシートが、外部からの電磁干渉や粉塵汚染を効果的に遮断します。さらに、カスタマイズされたウェーハカセット保護カバーアンバーPEIシートとリソグラフィー装置PEIアンバー保護プレートは、装置の寸法に従って加工でき、多様な生産ラインのレイアウト要件に完全に適合します。
半導体保護カバー用PEIとPEEKシートの比較
PEEKシートは、優れた極温度耐性(260℃の長期使用)と優れた耐摩耗性を備えており、長期の摩擦耐性が必要な隠れた構造部品、ウェハ伝送部品、非目に見えるシールド構造に適しています。ただし、純粋な PEEK は不透明で光透過性がないため、内部機器のリアルタイム観察には適していません。それに比べ、PEIシートは透明な琥珀色のバージン配合を採用しており、安定した光透過率を維持しながら、190℃の長期耐熱性とSEMIグレードの低アウトガス性能を保持しています。
不透明 PEEK は、実際の半導体製造における隠れた耐摩耗性機能部品として人気があります。琥珀色の PEI シートは、目に見える保護カバー、テスト フィクスチャのハウジング、および視覚検査用のリソグラフィ装置シールド プレートに使用される唯一の材料であり、厚さ 5 ～ 80 mm で入手可能です。この琥珀色のPEIシートは、バランスの取れた性能とより競争力のあるコストを備えており、半導体装置の日常の運用とメンテナンスのニーズに完全に適しており、中級および高級の半導体生産ラインに推奨される透明シールド材料となっています。
厚い琥珀色の PEI プレート供給における AHD 工場の利点
32 年の製造経験を持つ厚い琥珀色の PEI プレートの信頼できるメーカーとして、AHD はフルシリーズのエンジニアリング プラスチック シートおよびロッド製品の研究開発と生産に重点を置いています。当社のバージンPEI原材料は、半導体調達用の高純度PEI琥珀シートを生産し、製品のすべてのバッチはテストと品質検査に合格しています。
半導体顧客向けに柔軟なカスタマイズサービスをサポートします。保護ハウジング用の CNC 加工可能な厚い PEI アンバー プレートとカスタム サイズのバージン PEI アンバー シートは、顧客の図面に従ってさまざまな不規則な形状、穴、溝に CNC 加工できます。カスタム厚さのPEIアンバーシート5～80mmを工場から直接供給し、半導体製造装置メーカーの個別ニーズに完全に対応します。
供給能力の点で、AHD は厚さ 5 ～ 80 mm の琥珀色の PEI シートを大量に在庫しています。工場直販なので中間リンクが不要で短納期、安定した品質をお届けします。半導体グレードの卸売用 5 ～ 80 mm 琥珀 PEI シートおよびエレクトロニクス用工業用バルク Ultem 1000 琥珀シートの大量注文については、お客様の調達コストを削減できるよう、独占的な大量購入割引を提供しています。
当社の主な利点には、工場からの直接供給、十分な在庫、迅速な出荷、厳格な品質管理が含まれます。ウェーハ製造保護カバー用であろうと、チップパッケージング工場向けの卸売高温PEIアンバーボード用であろうと、バージンPEIアンバーシートの各バッチには、性能試験レポートと認定証明書が装備されており、サードパーティのテストと工場検査をサポートします。
Q1: PEIシートが半導体保護カバーに適している理由は何ですか?
A1: 未充填のバージン PEI シートは、アウトガスが非常に少なく、190°C までの高温、優れた寸法安定性、耐化学腐食性を備えています。 SEMI E59およびUL94 V-0の要件を満たし、ウェーハや精密機器の汚染を回避し、高清浄度の半導体製造環境での長期安定稼働を保証します。
Q2: 厚さ 5 ～ 80 mm の琥珀色の PEI シートを特殊な機器サイズに合わせてカスタマイズできますか?
A2: はい。 AHD は、厚さ 5 ～ 80 mm のすべての琥珀色の PEI シートに対してワンストップのカスタマイズされた加工サービスを提供します。当社の専門的な CNC 加工チームは、顧客の図面に従って切断、穴あけ、溝入れ、曲げを完了し、さまざまな半導体装置保護のニーズを満たすために非標準サイズや特殊構造のカスタマイズをサポートします。
Q3: AHD PEI プラスチック シートの納期と品質保証は何ですか?
A3: AHD では従来サイズの PEI シートを大量に在庫しており、3 ～ 7 営業日以内に迅速にお届けできます。カスタム加工品は7〜15営業日で発送されます。 32年の製造経験。各製品の完全な品質検査、完全な認定書類、および販売後の品質保証を提供します。当社は、お客様にとって長期的に信頼できるサプライヤーです。
AHD は、半導体グレードの琥珀 PEI シートのサンプル検査、小ロットの試用注文、または大規模な大量調達のためのプロフェッショナルなワンストップ ソリューションを提供します。
当社は、高水準の品質管理、柔軟なカスタマイズ、優遇卸価格を備えた、高品質のポリエーテルイミドシートおよびエンジニアリングプラスチック製品の信頼できる工場直接サプライヤーです。最新の見積もり、サンプル サポート、プロジェクトに関する専門的なガイダンスについては、今すぐ AHD にお問い合わせください。
